반도체 제조용의 기기(Machines and mechanical appliance for making Semiconductor devices)

원자층 성장기계는 반도체소자 제조시 사용되는WAFER(기존의 막이 단결정으로 되어 있음)의 원자층(화합물 : AL203, TA205 등)성장장비로 막을 성장시키기 위해 SOURCE를 교대로 Chamber내로 주입시켜 원자층이 각각 한 층씩 성장되도록 하는 장비

반도체 제조용이란 반도체를 직접 제조하는데 사용되는 기계뿐만 아니라 연구,개발용에 사용되는 기계까지도 포괄하는 것으로 판단하는 것이 정보기술협정(ITA)의 근본취지에 부합하는 것이며, 연구,개발용으로 사용되는 기계도 최종적인 목적은 반도체를 제조하기 위한 것임이 분명하므로 반도체제조용의 범위에 포함되는 것이 ...