품목분류사례
RF Plasma generator; AX-1000Ⅱ; 430mm(W)×536mm(D)× 220mm(H), 13.56 Mhz; ADVANCED TECHNOLOGY
이미지
이미지 준비중물품설명
본 물품은 무선주파수(RF Prequency: 13.56Mhz)를 발생시켜 반도체 웨이퍼 제조장비의 chamber에 공급하여 Gas와 합성하여 plasma를 형성시키는 기기로서 1000W급 Generator를 사용
결정이유
ㅇ 본 물품은 HS 8456호의 웨이퍼 건식식각기기에 사용되는 부속장비로서 고 전력(1000W)을 이용하여 무선주파수(13.56Mhz)를 발생시키는 기기로 제시된 상태에서 독립적인 기능을 수행하므로서 HS 8456호의 플라즈마 건식식각기 부분품 호인 HS 제8466호 에 분류할 수 없는 품목임 ㅇ 따라서 본 물품은 고 전력을 이용하여 플라즈마 주파수를 발생시키는 기기로서 고유기능을 가지고 있고 다른 호에 분류되지 아니하는 전기기기인바 제8543호 의 용어에 부합되는 물품이므로 통칙1을 적용하여 HSK 8543.89-9090에 분류하는 것이 타당함