위원회결정사항
VOC(Volatile Organic Compound) System ; ROTOR-RTO ; 2200CMM
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이미지 준비중물품설명
ㅇ반도체제조공정상에 사용된 화공약품에서 발생되는 휘발성유기화합물
(VOC, Volatile Organic Compound)을 함유하고 있는 유독폐가스(fume)를
처리하기 위한 시스템으로 VOC를 함유하고 있는 유독가스를 모아 고농도
로 농축한 후, 고열로 연소시킴으로써 공기내의 휘발성유기화물의 농도@...
결정이유
ㅇ8421호의 용어에는“액체나 기체용의 여과(filtering) 또는 청정기 (Purifying)”가 규정되어 있고 ㅇ관세율표8421호해설서(Ⅱ)(B)기체용의 여과기와 청정기에“이 기체용의 여과기와 청정기는 기체로부터 고체상 및 액체상의 입자를 분리하는 데 사용되며 유가물(예 : 노의 연소가스로부터 회수되는 ...