위원회결정사항
Digital Micro-mirror Device;X1272-0303,S1057-6224,X1057-6324,X1272- 0326
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도 -CMOS 기술에 의해 만들어진 SRAM위에 MEMS[MEMS(Micro Electro Mechanical System: 초소형 전자기계 시스템): 기판위에 적층된 희생층 (Sacrificial layer)을 식각해서 박막으로 된 3차원 구조물을 만드는 기 술. 전자회로와 반도체 기술을 이용...
결정이유
ㅇ 본건 물품은 하나의 반도체 재료(실리콘 웨이퍼)위에 모노리딕 반도 체 제조 기술인 CMOS 기술에 의해 구성된 SRAM 위에 반도체 기술을 기반 [TI발행물 참조]으로 하고 있는 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술을 이용하여 3차원 형상의 알루미늄 전극층과 Yoke a...