품목분류사례
Machines parts for deposition membrance on wafer;Susceptor Plate
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이미지 준비중물품설명
Wafer상에 절연막을 증착하는 CVD장비에 장착되는 부품으로 두께 4.5mm,직경 200mm인 원판에 4개의 홀이 있으며 순수알루미늄 재질에 표면은 Anodizing처리가 된 물품으로 Wafer표면에 온도의 균일보장과 Deposition되는 전열막의 두께를 균일하게 조절, 적정온도를 유지하도록 매순간 온도를 읽어 전달하며, RF Power를 제때에 밖으로 배출시켜 Sticking 현상을 방지하는 물품임
결정이유
ㅇ본 물품은 알루미늄 재질에 Anodizing(양극산화)처리, 온도 Reader용 TC(Thermal Couple)가 내장되어 Wafer의 온도를 균일하게 유지·전달, Wafer표면의 절연막의 두께를 균일(불균일도 3%미만), Wafer 지지(Wafer Lift Finfer)기능을 하도록 제작된 물품으로 3개월마다 Rf와 GAS에 의하여 표면불량으로 교체되는 CVD장비에 전용되는 소모성부분품으로 제16부주2나『특정한 기계에 전용 또는 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호에 분류한다』에 따라 HSK8479.90-3010호에 분류함