품목분류사례
Pattern Generating apparatus of a kind used for producing masks or reticles from photoresist coated substrates ; ALTA 3700 MASK & RETICLE WRITING SYSTEM
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 물품명 : ALTA 3700 MASK & RETICLE WRITING SYSTEM ㅇ Laser빔을 이용하여 설계되어진 반도체 회로를 Blank Mask(감광제가 코팅된 Glass)위에 Optic System을 이용하여 레이져빔을 반사시켜 필요한 패턴을 형성하는 장비 ㅇ 주요구성요소 및 기능 (1) Pri...
결정이유
ㅇ 제9010호해설서(M)『감광성 반도체 재료에 회로모형을 투영 또는 드로잉하는 기기는 전기식 집적회로 제조에 사용되는 것이다 이는 반도체 웨이퍼위에 도포한 감광성막(Layer)에 회로모형을 나타내는(Exposure) 기기이다』로 웨이퍼위에서 회로모형을 노광시키는 기기로 해설 ㅇ 같은 해설서(M)(1)에 마스...