품목분류사례
Parts for filtering machinery ; Falcon Photoresist Filter (MCD9116UFDEJ) ; 024inch/52mm ; USA
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이미지 준비중물품설명
반도체 사진공정용 트랙장비에 설치되어 웨이퍼 64메가디램에 전용되는 도포기, 식각기, 현상기 등의 여과장치에 설치되어 사진공정(Photo lithography Process)에 사용되는 감광액(Photoresist)에 포함된 0.05마이크론 이상의 미세한 오염입자를 제거(약99%)하기 위하여 사용되는 물품으로 외부재질은 폴리 에틸렌 재질로, 내부막은 PTFE(불소수지 : Polytetra Fluoro ethylene)재질로 만들어진 물품임
결정이유
ㅇ 본 물품은 외부재질은 폴리에틸렌으로, 내부는 필터기능을 위한 PTFE재질의 막(Membrane)이 설치되어 0.05마이크론 이상의 미세한 오염입자를 제거할 수 있도록 제작된 물품으로 반도체제조용코팅기, 습식식각기, 현상기, 스트리핑기, 세척기 등에 사용되는 여과기에 전용되는 여과장치(HSK 8421.21-9020호 또는 HSK8421.29-3000호)부분품으로 제16부주2가에 따라 HSK8421.99-9030호에 분류하는 것이 타당함