BMU(Beam Matching Unit)

ㅇ KRF Eximer Laser 발생장치에서 KRF기체의 여기과정중에 발생되는 빛을 집적하여 방출하는 파장 248nm급 원자외선 레이저빔을 이용하여 1:4로 노광하는 장비에 사용되는 기기로 쟁점물품은 Main Body에서 콘트롤된 Light Source가 레이저 발생부를 통하여 빔을 노광기 본체에 전달하기 위한 광전송 통로유니트로 분리설치된 광원과 노광기 본체를 밀폐·결합하여 외부에서의 간섭을 차단함으로서 노광공정에서 필요로 하는 광량을 안정적으로 공급하기 위한 광전송 통로의 역할을 수행하는 기기

ㅇ 쟁점물품은 분리설치된 노광기본체와 레이저발생 부분을 연결시켜 외부에서의 간섭을 차단시켜 주기 위하여 사용되는 제품으로 제어는 노광기 본체에서 받게되며, 광원발생기능은 없는 광전송로 유니트의 기능의 물품으로 내부에 Silicon Zoom Lens등으로 구성된 광학용품의 구조를 갖춘 기기로 ㅇ 쟁점물품과 관련된 제9002호 의 용어는 기타의 광학용품(장착된 것으로서 기기의 부분품으로 또는 기기에 부착하여 사용하는 것에 한하며 광학적으로 연마되지 아니한 유리제의 것을 제외한다)으로 ㅇ 제9002호 해설서“이 호에는 시력교정용의 렌즈(테 또는 자루를 붙여서 제9004호 의 안경을 만든 경우의 것)를 제외하고 제9001호 해설(B), ⓒ, (D)에 언급한 물품에 영구적인 장착구를 붙인 것(즉, 지지구 또는 프레임등을 부착한 것)으로서 기기에 부착하여 사용하는 것이 분류된다. 이 호에 해당되는 물품은 주로 특정의 기기 또는 기기의 부분품을 구성하기 위하여 다른 부분에 부착시키도록 설계제작되어 있다 이호에는 테 또는 자루가 부착된 광학용품으로서 그 자체가 별개의 기기로 되어 있는 것은 포함되지 아니한다”고 해설 ㅇ 본 물품은 광원발생기와 노광기에 부착되도록 제작된 물품으로 프레임내에 실리콘 줌렌즈 등의 광학적 소자로 구성되어 광전송통로 유니트의 기능을 하는 기기로 제90류부분품에 관한 분류원칙인 제90류주2가(특게호 우선의 원칙)에 따라 HSK9002.90-9010호에 분류