품목분류사례
Appliance For inspecting semiconductor wafers; MetaPULSE200; Film Metrology System: RUDOLPH
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이미지 준비중물품설명
■ 용도 및 기능 필름 두께 측정기로서 레이저 발생장치에서 발생된 레이저가 웨이퍼상에 형성된 필름에 도달했을 때 발생된 초음파가 필름속으로 투사되어 반사되었을 때의 레이저의 반사율을 측정하여 필름의 두께를 측정함. ■ 구성요소 - 디스플레이부 : 각종 정보를 이용 웨이퍼상의 메탈막 두께 계산을 위한 컴퓨터 및...
결정이유
■ 본건 물품은 레이저 발생장치에서 발생된 레이저 빔을 반도체 웨이퍼상에 형성된 필름에 투사했을 때 발생된 초음파가 필름에 투과되어 반사되어 오면, 웨이퍼 표면의 밀도가 변하며, 이때 수광소자(Photocell)가 빛의 반사율을 이용하여 웨이퍼 상의 필름의 두께를 측정함. ■ 본건 물품은 일반 초음파 측정장치...