품목분류사례
노광기(exposure machine);DI-PDP/rd
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도
- PDP(plasma display panel)의 제조용으로 program제어방식이며 PDP
Glass위에 감광성 PR(Photo Resistor) 및 DFR(Dry Film Resistor)이 도포
된 것에 Laser diode로 R.G.B패턴을 형성하는 기기
- Photo Mask에 그려진 패턴을 UV(자외선)에 노출시켜 패턴을 형성시키
는 방법이 아니라, Photo Mask를 사용하지 않고 직접PR(Photo Resistor)
및 DFR(Dry Film Resistor)이 도포된 유리기판위에 Laser diode로 R.G.B패
턴을 형성함
ㅇ 주요 구성요소 및 기능
① LOAD/UNLOAD CONVEYOR
- side roller guide방식의 load/unloading방식으로 3개 이상의
sensor부착으로 glass 투입 및 취출을 시행
- Loading/unloading시 기판의 온도 측정을 위한 센서설치
② Table Moving Stage
- Liner Motor와 Air bearing에 의한 노광속도 및 노광 Stroke
Control을 시행
- 설비 진동방지, 정도향상을 위하여 Liner motor base재료는
granite를 사용
- 기판 기종에 따라 등록된 data를 기억하여 자동으로 노광영역이 설
정 됨
③ Glass align camera
- 테이블을 1회 이동시에 mark의 위치를 확인하고 노광시 Real time
align을 실시하며 camera는 기종/면취별 대응이 가능한 수량 및 구조로 한
다
④ 기판흡착 테이블
- 노광시 glass의 이동방지를 위한 테이블
⑤ Laser head moving stage
- 정밀 servo motor 및 정밀 볼 스크류를 사용하여 노광시 STEP을
이동
⑥ Data Engine Unit
- 패턴의 이동/확대/축소/tilt 기능을 수행하여 원하는 패턴노광을
할 수 있도록 하는 기능을 수행
⑦ Main Frame부
- 용접 주물구조로서 설비의 반입 및 이동설치가 용이하고 설비의
Level 조절이 가능한 foot를 설치하며 진동 흡수가 가능