박막두께측정장비(Thin Film Thickness Measurement System : Spectra Thick 7000)

ㅇ 구성요소 -시스템본체 -광학부 및 샘플위치부 : Sample Autostage, 측정용 가시광원, XY- Autostage Control Box -소프트웨어 ㅇ 광파신호 경로 -특정파장의 가시광원 ⇒ 박막입사 ⇒ 각 경계면 반사 ⇒ CCD(광위치 검 출기) ⇒ A/D변환기 ⇒ PC ⇒ ...

ㅇ 본 물품은 박막에 입사된 각각 다른 반사파를 CCD로 집광하여 생긴 간 섭스펙트럼에 박막의 두께와 굴절률을 바꾸어 가며 이미 계산된 스펙트럼 을 피팅하여 박막의 두께를 측정하는 장비임 ㅇ 관세율표 제9031호에는 “기타의 측정 또는 검사용의 기기(이 류의 다 른 호에 분류되지 아니한 것에 한한다.)”가 분...