Pellicle (WT8A30)

ㅇ 레티클이나 포토마스크에 부착되어 회로 투영기에서 포토마스크의 회 로 모형을 반도체 Wafer에 전송할 때 사용되는 부품임. ㅇ Pellicle은 매우 얇은 플라스틱 필름(0.7～1.8 마이크로미터)으로 Fluoropolymer 또는 Nitrocellulose로 구성되어 있고 반사 방지막 처리가 되어 있는 물품이며 프레임 구조를 갖추어 웨이퍼에 패턴 또는 회로를 형 성하는 기기(노광기, 회로 형성기)의 포토마스크나 레티클에 장착되어 사 용되는 물품임. ㅇ 포토마스크나 레티클이 먼지 등에 오염되지 않고 파티클이 나지 않도 록 보호하는 기능을 수행하는 한편, 파티클이 있는 경우라도 Pellicle과 마스크 사이의 갭에 의해 파티클의 이미지가 wafer에 전송되지 않도록 함.

ㅇ 본건 물품 Pellicle은 매우 얇은 플라스틱 필름으로서 Fluoropolymer 또는 Nitrocellulose로 구성되어 있고 반사방지막 처리가 되어 있는 물품 (물품에 따라서는 반사방지막이 코팅되지 않은 경우도 있을 수 있음)으로 서 프레임 구조를 갖추어 감광성 반도체 재료에 패턴 또는 회로를 형성하 는 기기의 포토마스크에 장착되어 사용되는 물품으로서 포토마스크나 레티 클이 먼지 등에 오염되지 않도록 보호하는 기능 및 Pellicle과 마스크 사 이의 갭에 의해 파티클의 이미지가 wafer에 전송되지 않도록 해 주는 기능 을 수행함. ㅇ 본 건 물품이 장착되어 사용되는 기기는 감광성 반도체 재료에 회로모 형을 투영 또는 드로잉하는 기기이며 동 기기는 HS 9010.42-0000호에 분류 됨. ㅇ 한편, 90류 기기의 부분품과 부속품에 관한 분류규정인 90류 주2에 규 정된 분류순서를 보면 ① 84, 85, 90, 91류의 특정호에 게기된 물품은 당해 호에 분류 ② 기타의 것으로서 특정기기에 전용 또는 주로 사용되는 물품은 당해 기 기와 함께 분류 ③ 기타의 것은 9033호에 분류한다. ㅇ 본건 물품 Pellicle의 기능은 크게 ①Mask나 Reticle에 공기중의 먼지 등 오염물질이 닿지 않도록 하는 보호기능과 ② 페리클과 마스크 사이의 물리적 공간 거리인 갭에 의해 파티클의 이미지가 Wafer에 전송되지 않도 록 해주는 기능으로 대별할 수 있으나, 이중 가장 중요하고 본질적인 기능 은 포토마스크(레티클)을 보호하는 기능이다. - 또한, 빛의 투과율을 높이기 위해 별도의 광학적인 작업을 거친 것도 아 니고(투과율은 두께와 밀접한 연관성이 있기 때문에 1마이크로미터 내외 로 두께를 정밀 조정함), 집광을 하거나 편광을 하거나 빛을 필터링하거 나 회절시키거나 간섭시키는 광학적인 기능을 하도록 별도의 광학적인 작 업을 하지 않은 물품으로서 단순히 물질자체가 가지는 빛의 투과율을 이용 한 물품임. - 아울러, Fluoropolymer 또는 nitrocellulose는 투명도가 높은 수지로서 39류에 분류되는 물품이고, 그 자체로서는 광학용품이 아니며, - 9001호 해설서에 “광학용품에 반사방지막으로 피복된 것도 있다. 이것 은 이호의 광학용품의 분류에 영향을 미치지 않는다.”고 설명하고 있는 바, 광학용품의 분류시 반사 방지막 자체가 광학용품의 분류에 영향을 미 치지 않고, 반사 방지막이 코팅되는 물품이 광학용품인 지 여부가 중요하 므로, 본건 물품의 경우 반사 방지막이 코팅되는 Fluoropolymer 또는 Nitrocellulose는 광학용품이 아니므로 본건 물품은 광학용품 으로 분류 할 수 없음 ㅇ 따라서, 본건 물품은 90류 주 2(a)의 규정에 의거 HS 9002호의 광학용 품으로 분류할 수 없으므로 90류 주 2(b)의 규정에 의거 분류하여야 하는 바, 본건 물품은 HS 9010호에 분류되는 감광성 반도체 재료에 회로모형을 투영하거나 드로잉하는 기기의 포토마스크(레티클)에 장착되어 사용되는 Accessory 기능을 수행하는 물품이므로 HS 9010.90-1010호에 분류한다.