품목분류사례
ㅇ 품 명 : Heater block ㅇ 모 델 : Novellus Sequel ㅇ 형 태 : Notched, Non-notched type ㅇ 규 격 : 직경 800mm원형(6″, 8″ 실리콘 웨이퍼용), 중량 75㎏
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 개요 : 전기에너지를 열에너지로 변환하여 균일한 온도를 전달하는 기
기
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체 실리콘 웨이퍼상에 박막을 생성하는 박막증착장비(CVD;
chemical vapor deposition)에 사용되어 온도(열) 전달하는 장치로 CVD의
핵심요소임
- CVD의 전기콘트롤러로부터 전기를 공급받아 정해진 온도(약 400℃)의
열을 발생하여 실리콘 웨이퍼에 열을 전달함
ㅇ 구성요소
- 알루미늄 블록 : 히터 전체를 구성하는 본체로서 히터 열선에서 발생
하는 적정온도의 열을 유지 보존하면서 반도체 실리콘 웨이퍼상에 박막 증
착에 필요한 온도(약 400℃)를 전달하는 장치
- 인코넬 히터(Inconel heater) : 알루미늄 블록 내부에 일정한 배열로
심어져 용접으로 고정되며 전기 인출 단자로부터 전기에너지를 받아 열로
바뀌어 균일한 온도를 블록에 전달하는 장치
- 전기 인출단자 : 인코넬 히터 양쪽 끝에 장착되어 본체와는 전기적 격
리를 위해 중간에 세라믹 절연물을 사용하고 인코넬 히터에 전기에너지를
공급하는 장치
- 히터지지블록 : 히터블록 전체를 CVD챔버 내부에 안전하게 장착하기
위해 3개로 구성되어 본체 하단에 부착된 것임.