품목분류사례
MONOVAT GATE ; PERLAST
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 구성 및 형태
- 알루미늄(약98%)과 특수고무(약2%)가 결합된 형태로 CVD(화학기상증착
기:웨이퍼위에 절연막을 증착)장비를 구성하는 부품
ㅇ 기능 및 용도
- CVD장비의 Chamber와 Chamber 사이에 장착되어 Chamber의 개폐역할을
함으로써 웨이퍼를 이동하게 하며
- 알루미늄 body에 결합되어 있는 특수고무는 증착과정에서 발생하는 플
라즈마나 가스가 새는 것을 방지하고 기계적 마찰에 의한 Particle발생을
억제하는 역할을 함
※ CVD장비는 Load Rock Chamber, Transfer Chamber, Process Chamber
등으로 구성되어 있으며, 웨이퍼를 각 Chamber로 이동시켜 최종 Process
Chamber에서 절연막 증착이 이루어 짐
결정이유
ㅇ 본 물품은 CVD장비의 Chamber와 Chamber 사이에 장착되어 Chamber의 개 폐역할을 함으로써 웨이퍼를 이동하게 하며 알루미늄 body에 결합되어 있 는 특수고무는 증착과정에서 발생하는 플라즈마나 가스가 새는 것을 방지하 고 기계적 마찰에 의한 Particle발생을 억제하는 역할을 함 ㅇ CVD(화학기상증착기)는 반도체 제조공정 중 웨이퍼위에 절연막을 증착하 는 장비로서 제8479.89-2020호에 분류됨 ㅇ 따라서 본 물품은 CVD장비에 전용되어 사용되도록 설계.제작된 물품이 므로 CVD장비의 부분품이 분류되는 HSK8479.90-3010호에 분류한다