엑시머 레이저 결정화 장비 ; SLS500

ㅇ 구성 및 형태 Contoller, 레이저발생기, Optic system, Stage 조정장치 등으로 구성 ㅇ 기능 및 용도 - TFT LCD의 하판의 트렌지스터를 구성하는 비정질 시리콘(a-si)을 레이 저를 이용하여 결정화(작은덩어리를 큰 덩어리로 만들어 집적도를 높임)함 으로써 전기이동도를 크게하여 유리기판위에 구동회로 및 다른회로를 구현 - 동 기법은 반도체제조에서도 사용될 수 있으나 수입업체의 Catalog에 서 본품 모델을 LCD제조용으로 소개하고 있음

본 물품은 TFT LCD의 하판의 트렌지스터를 구성하는 비정질(a-si)을 레이 저를 이용하여 결정화(작은덩어리를 큰 덩어리로 만들어 집적도를 높임)함 으로써 전기이동도를 크게하여 유리기판위에 구동회로 및 다른회로를 구현 할 수 있도록 설계제작된 기기이므로 평판디스플레이제조용의 기기로보아 HSK8479.89-3090에 분류