품목분류사례
Sheet Resistivity Measurement System ; VR120S
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도
- 웨이퍼 표면의 면저항 측정 및 웨이퍼에 Single Layer 및 Multi Layer의
도전성이 있는 막질의 면저항 측정용 계측설비임
ㅇ 주요구성요소별 기능
- Cassette부 : Wafer Cassette를 올려 놓을 수 있는 부분으로 Wafer를 인
식하는 부분
- Robot부 : Cassette부에 위치한 Wafer를 Cassette에서 꺼내 설비의 Main
Stage로 이동시켜 주는 기능
- Stage부 : Robot부에서 받은 Wafer를 Recognition되어진 좌표로 이동
- Tester부 : 4 Point Probe를 이용하여 Wafer에 면저항을 측정
- Computer부 : Probe에서 받아 들이는 전류와 전압을 System의 계산식에
의해 계산하여 계산된 값을 Monitor상에 Display해 주는 기능
결정이유
ㅇ 관세율표 제9030호 에는 “전기적량의 측정 또는 검사용의 기기”가 분류 되고 - 관세율표해설서 제9030호 에서는 전기량측정의 주요한 형으로 전류, 전 압, 저항의 측정 등을 예시하고 있음 ㅇ 본 물품은 웨이퍼 표면의 면저항을 측정하는 기기로 반도체웨이퍼의 전 기적량의 측정 또는 검사용 기기에 해당하므로 HSK9030.82-0000호에 분류한 다.