품목분류사례
Wafer Loader & Microscope ; AL110-LMB12/MX50L-RF
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 물품의 형태 : Loader와 현미경이 동상 · 동일 프레임에 장치되어 있
으나, 영구적으로 부착되도록 설계 · 제작된 것이 아니라 사용자의 필요
에 따라 탈착이 가능한 호환성을 지닌 물품 (화주제시)
ㅇ 구성요소 및 구성요소별 기능
① Wafer Loader : Program에 의해 Robot Arm이 지정된 장소에 놓여진
웨이퍼를 한 장씩 pick up하여 현미경의 stage까지 이송하는 장치
② Microscope : 할로겐램프, 대물렌즈, 접안렌즈 등으로 구성한 광학현
미경으로 wafer의 불량 patten 및 이물질을 사람이 검사
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체 웨이퍼의 불량 patten 및 이물질 검사
결정이유
ㅇ 제9031.41소호는 기타의 광학식의 측정 또는 검사용의 기기로서 반도 체웨이퍼 및 소자 검사용 또는 반도체 소자 제조에 사용되는 포토마스크 또 는 레티클을 검사하는 기기가 분류됨 ㅇ 따라서 본 물품은 Wafer 이송과 광학식 현미경이 결합되어 반도체 웨 이퍼의 불량 patten 및 이물질 검사하는 장비이므로 기타의 광학식의 반도 체웨이퍼 검사용의 기기로 보아 HSK9031.41-9000에 분류