품목분류사례
Aerial Image Measurement System ; AIMS FAB 193 Second Generation
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 구성요소 및 구성요소별 기능
① CCD : Emulation된 이미지 Capture
② Bertrand optics : 장비의 Optic을 정렬하기 위해 사용되어지는 렌즈
③ Laser : Laser를 발생하여 광원으로 사용
④ Homogenizer : Laser에서 나온 광원을 Optic 전체 field에 균일하게
조사
⑤ Condenser lens : 조명을 일정한 초점지역으로 집광 시켜주는 렌즈
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체 Mask Inspection장치에서 확인된 Mask의 불량유무와 불량위치
등의 data를 전송받아 불량이 발생한 부분의 aerial image(웨이퍼상에 직
접 형성된 이미지가 아닌 가상이미지)를 통하여 웨이퍼에 프린터하기 전에
결과를 예측하여 pattern의 불량상태를 검사(repair된 마스크 포함)
결정이유
ㅇ 제9031.41소호는 기타의 광학식의 측정 또는 검사용의 기기로서 반도 체웨이퍼 및 소자 검사용 또는 반도체 소자 제조에 사용되는 포토마스크 또 는 레티클을 검사하는 기기가 분류됨 ㅇ 따라서 본 물품은 레이저를 광원으로 CCD와 렌즈를 통하여 마스크의 불 량상태를 검사하는 장비이므로 기타의 광학식의 반도체 소자 제조에 사용되 는 포토마스크를 검사하는 기기로 보아 HSK9031.41-9000에 분류 6>