품목분류사례
Gas Sensor ; 정전위 전해 센서 ; ESM-K233
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체 제조공정 중 특정 Gsa(텅스텐 헥사플루오라이드, WF6) Leak 발생
시 누수여부 및 누수량(검출범위 0.1 - 9 PPM)을 검출하여 검출된 Data를
외부 모니터링 장비로 전송하는 물품임
ㅇ 작동원리
- Gas Leak 발생시 Gas Sensor로 Gas가 유입되어 Gas Sensor 내부의 전해액
(묽은 황산)이 화학 반응을 일으키며 전극을 통해 전류 발생
- 발생된 전류는 정전압 회로를 통하여 마이크로 암페어, 미리 암페어로 증
폭
결정이유
ㅇ 제9027호 에는 “가스 분석용 기기”가 분류되는 바, ㅇ 본 물품은 특정 Gsa(WF6)의 Leak 발생시 누수여부 및 누수량(검출범위 0.1 - 9 PPM)을 검출하여 검출된 Data를 외부 모니터링 장비로 전송하는 물 품으로 비록 누수량 등을 직접적으로 제시하지는 않지만, 가스분석용 기기 의 주요한 특성을 갖춘 것이므로 통칙 2가의 규정에 의거 HSK9027.10-0000 호에 분류한다.