품목분류사례
Heat Exchanger ; AMAT-0 ; USA
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체 CVD장비의 챔버에 사용하며, 챔버의 Process진행시 내부온도
(400℃)로 인한 챔버바디의 온도상승으로 발생할 수 있는 장비의 손상을 막
기위해 챔버바디를 거쳐 상승된 DI Water를 다시 60℃의 온도로 낮추어 주
는 역할을 수행
결정이유
ㅇ 본 물품은 반도체 CVD장비의 챔버의 내부온도(400℃) 상승으로 발생할 수 있는 장비의 손상을 막기위해 챔버바디를 거쳐 상승된 DI Water를 다시 60℃의 온도로 낮추어 주는 기능을 수행하므로 가열, 조리, 냉각 등 온도 변화에 의한 방법으로 재료를 처리하는 기계 중 기타의 열교환기로 보아 HSK 8419.50-9000에 분류