품목분류사례
Chiller : D230/ADA-K5 ; 일본
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 구성요소 및 기능
① Operation Panel : 설비 본체에 설치되며 수동으로 설비의 온도를 조
작하는 부분
② 냉각기 : Compressor를 이용하여 냉각액의 온도를 -55℃로 낮추는
역할
③ Pump : Compressor에 의해 냉각된 냉각액이 Prober Chuck으로 순환
할 수 있도록 함
④ Interface Connector : Prober와 Chiller를 연결하는 부분
ㅇ 기능 및 용도
- Wafer Test 공정 중 Prober내부에 설치된 Chuck(Wafer를 올려 놓을
수 있는 기구)의 온도를 냉각액(HEE-7200)을 순환시킴으로써 웨이퍼를 올
려 놓을 수 있는 기구인 chuck의 온도를 -40℃까지 냉각시켜 웨이퍼의 온도
를 낮추어 줌
결정이유
ㅇ 관세율표 제8419호 는 가열 · 조리 · 배소 · 증류 · 살균 · 저온 살균 · 증기가열 · 건조 · 증발 · 응축 · 냉각 기타 온도변화에 의한 방법으로 재료를 처리하는 기계가 분류되며 - 동 해설서 제8419호 에 한제(Freezing-salt)사용형의 냉동고를 동호에 분류토록 규정하고 있음 ㅇ 따라서 본 물품은 Compressor를 이용하여 냉각액(소금물)의 온도를 - 55℃로 낮추어 Pump를 통하여 순환시킴으로써 웨이퍼를 올려 놓을 수 있는 기구인 chuck의 온도를 -40℃까지 냉각시켜 웨이퍼의 온도를 낮추어 주는 기능을 수행하는 기계이므로 기타의 냉각기로 보아 HSK8419.89-9020에 분류