협의회결정사항
Dual Beam FIB/SEM ; NOVA200 ; USA
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 물품형태 : Main FIB본체에 SEM column이 결합된 형태
ㅇ 구성요소 및 구성요소별 기능
① FIB(Focused Ion Beam) :
- Imaging : Ion Beam을 웨이퍼 또는 소자의 회로부분에 약하게 조사하
면 2차 전자 이온이 발생하는 데 이를 detecor로...
결정이유
ㅇ 관세율표 제8456호는 각종 재료의 가공공작기계(레이저 또는 기타광선· 광자빔·초음파·방전·전기화학·전자빔·이온빔·플라스마아크방식에 의 하여 재료의 일부를 제거하여 가공하는 것에 한한다)가 분류되며, 제9012호 는 전자빔을 사용하는 전자현미경이 분류됨 ㅇ 쟁점물품은 반도체 웨이퍼 또는 소자상에 있는 회로...