품목분류사례
Memory Tester System(T5377)
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 용도
- Fab라인에서 생산된 웨이퍼상의 칩 또는 셀을 전기적 신호를 이용하여
양품 및 불량품을 검사하는 장비
ㅇ 구성요소 및 기능
- Tester Head : Prober Station System(Wafer를 Tester가 검사할 수 있
도록 정렬하는 장비로 질의물품이 아님)에 의해 정렬된 Wafer에 전기적 신
호를 인가
- Power Supply : 전원공급장치
- Pattern Generator : 검사할 웨이퍼상의 칩 또는 셀에 인가할 전기적
신호를 생성하는 장치
- Computer : Controller 기능과 Wafer의 전기적 신호에 의해 양품과 불
량품을 판별
ㅇ 작동원리
- Prober에 의해 정렬된 Wafer에 Tester Head를 이용하여 Pin Card를
Wafer의 Chip에 접촉
- Pattern Generator에서 생성된 신호를 Wafer의 Chip에 인가하여 Chip
을 동작시킴
- Chip을 거쳐 나온 동작신호를 Computer를 이용하여 양품 및 불량품을
검사
결정이유
ㅇ 제9030호 에는 “기타의 전기적 량의 측정 또는 검사용 기기”가 분류되 며, 제9030.82소호에는 “반도체웨이퍼 또는 소자의 측정 또는 검사용의 것”이 분류되며 ㅇ ITA(Information Technology Agreement : 정보기술협정) Attachent A Section 2에 「반도체 웨이퍼 또는 소자를 측정 또는 검사하는 기기 (Instrument and apparatus for measuring or checking semiconductor wafers or devices)」가 게기되어 있고 아국에서는 이를 수용하여 HSK9030.82-0000호로 양허하였음. ㅇ 제90류 주3에서 “제16부 주4(Functional Unit)의 규정은 이 류에도 적 용한다” 라고 규정하고 있고 - Tester Head, Power Supply, Pattern Generator 및 Computer는 전체로 웨이퍼상의 칩 또는 셀을 전기적 신호를 이용하여 양품 및 불량품을 검사 하는 기능을 수행하므로HSK9030.82-0000에 분류한다.