품목분류사례
Sensor(4027A2M 2MHZ BIRD R.F)
이미지
이미지 준비중물품설명
ㅇ 용도
- 반도체 제조공정이나 기타 정밀공정에 사용(제조사 카달로그)되며,
1.5MHz ~ 2.5MHz의 주파수를 가진 고주파전력(3W~10KW)의 크기를 측정하
여 전력원의 이상유무를 확인
- 신청인은 반도체 제조공정상의 Dry Etching 장비에 사용
ㅇ 작동원리
- 고주파 전력원과 부하사이에 위치하여 고주파전력을 측정하여 외부의
RF Power Meter로 전송
결정이유
ㅇ 제9030호 에는 “기타의 전기적 량의 측정 또는 검사용 기기”가 분류되 며, - 본 물품은 고주파 전력원과 부하사이에 위치하여 고주파 전력을 측정하 여 이에 비례하는 전기적 신호를 Power Meter에 출력하여 그 이상유무를 확인할 수 있게 하는 기기로, 기록정보(readout)가 없는 불완전한 전기적 량의 측정기기로 통칙2 (a)에 의거 완성품으로 보아 HSK9030.89-0000호에 분류한다.