품목분류사례
Residual Gas Analyzer(잔존가스분석기) : Transpector2
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 구성요소
① Power 공급부
② 가스 검출센서
ㅇ 기능 및 용도
반도체 장비 중 이온주입설비의 챔버(Chamber)내의 잔존가스 분석용으
로 사용
※ 이온 주입설비 : 반도체 공정에서 특정 이온의 불순물을 웨이퍼상에
주입시키는 공정
ㅇ 작동원리
① 이온주입설비의 각 챔버에 부착
② 검출부를 통하여 검출된 가스를 RF Power를 이용하여 이온화 시킨 후
③ 질량분석 방법에 의하여 잔존 가스를 분석
결정이유
ㅇ 관세율표 제9027.10소호의 용어에 가스 또는 매연 분석용 기기가 특게 되어 있으며, 동 해설서 제9027호 에 “(ⅵ) 수소염중의 탄화수소의 이온 화”의 원리에 의하여 작동되는 가스분석기를 예시하고 있음 ㅇ따라서 본 물품은 반도체 장비 중 이온주입설비의 챔버(Chamber)내의 잔 존가스를 분석하는 기기 이므로 가스분석기로 보아 9027.10-0000호에 분류 통칙1 및 6>