품목분류사례
PIRANI Gauge : WP-01
이미지
이미지 준비중물품설명
ㅇ 물품형태
- steel 재질의 몸통과 filament로 구성
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체 확산공정 설비인 전기로의 가스공급 배관내의 가스의 압력을
측정
※ 확산공정(Diffusion)
반도체 제조 과정 중 필요한 부분에 불순물을 주입시키기 위하여 웨이
퍼 표면에 불순물을 증착한 후 열처리를 함으로써 실리콘 내부로 원하는 깊
이만큼 불순물을 확산
ㅇ 측정원리
- 압력의 변화에 따른 필라멘트의 저항값의 변화량을 측정
결정이유
ㅇ 관세율표 제9026호 는 액체 또는 기체의 압력 측정 또는 검사용의 기기 가 분류되며, 동 해설서 제9026호 에 “압력계 : 밀폐된 공간내의 액체 또 는 기체의 압력을 측정하는 기기이다” 라고 해설하고 있음 ㅇ 따라서 본 물품은 밀폐된 공간에 흐르는 가스(기체)의 압력을 측정하 는 기기로서 비록 표시장치는 없지만 실제 압력을 측정하는 부분이므로 통 칙2(a)에의거 완성품의 본질적인 특성을 갖춘 기타의 압력계로 보아 9026.20-1190호에 분류