품목분류사례
FOUP Purge Outlet Filter ; 01-020933
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 구성 및 형태
- Cap, O-ring, Guide, Plunger, Spring 등으로 구성
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체 제조공정 중 FOUP(웨이퍼를 담아두는 용기)내부에 N2 및 불활
성 GAS를 주입하여 FOUP내부에 담겨져 있는 Wafer표면의 이상 막질 성장을
억제하는 데
- FOUP내부에 주입된 N2 및 불활성 GAS의 적정압력 유지를 위하여 일정
압력 이상의 공기 및 GAS가 FOUP 내부로 주입되면 자동으로 Check Valve가
열려 FOUP외부로 배출됨
ㅇ 작동원리
- Check Valve로 압력이 가해지면 Head가 아래로 눌려 공기 및 GAS가 아
래로 배출
결정이유
ㅇ 제8481호 에는 파이프·보일러의 동체·탱크·통 또는 이와 유사한 물품 에 사용하는 탭·코크·밸브와 이와 유사한 장치가 분류되며, 체크밸브는 8481.30소호에 분류됨 - 동 해설서 제8481호 에 기체의 압력을 조정하도록 설계된 장치도 포함됨 을 해설하고 있음 ㅇ 본 물품은 반도체 제조공정 중 FOUP(웨이퍼를 담아두는 용기)내부에 N2 및 불활성 GAS를 주입하여 FOUP내부에 담겨져 있는 Wafer표면의 이상 막질 성장을 억제하는 데, FOUP내부에 주입된 N2 및 불활성 GAS의 적정압력 유지 를 위하여 일정 압력 이상의 공기 및 GAS가 FOUP 내부로 주입되면 자동으 로 Check Valve가 열려 FOUP외부로 배출하는 역할을 수행하므로 체크밸브 로 보아 (8481.30-0000)에 분류