품목분류사례
WATT METER ; SCC7
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체 제조공정중 Dry Etcher나 CVD장비의 RF파워장비를 실제 장치에
인가하기 전에 Power량을 측정하여 실제 어느정도의 파워를 출력하는지
검사(Calibration)하는 용도로 사용됨
ㅇ 구성요소
- ① Power Sensor(4027A10M) : 10~15Mhz의 3W~10KW 범위의 Power를 측정
- ② Power Meter(4421) : Power Sensor에서 측정된 Data값을 Display
- ③ Dummy Load(8931-230) : 측정된 RF Power를 흡수하여 차단(소멸)하
는 장치
결정이유
ㅇ 관세율표 제9030.3소호에는 "전압·전류·저항·전력의 측정 또는 검사 용의 기기(기록장치가 없는 것에 한한다)”가 분류되며, 동해설서에서 “전기량측정의 주요한 형으로는 다음의 것이 있다. (Ⅳ) 전력의 측정 : 와트계(wattmeter)를 이용한다.”라고 해설하고 있음 ㅇ 본 물품은 반도체 제조공정에 사용되는 RF파워장비를 실제 장치에 인가 하기 전에 Power량을 측정하여 실제 어느정도의 파워를 출력하는지 검사 하는 장비이며, 따라서 기타 전력의 측정 또는 검사용기기(9030.39-9000) 로 분류함