품목분류사례
Ion Gauge ; M-13
이미지
이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체 제조공정중 금속막증착장비(PVD)설비에 장착되어 고진공(High
Vacuum) 측정
- 측정 Vacuum 범위 : 2.0e011 ~ 1.0e-3 Torr
ㅇ 구성 및 작동원리(신청인 작성 물품설명서)
- Filament, Grid, Collector로 구성되어 있으며, 재질은 스테인레스 스
틸
- ① Gauge가 On되면 Filament에 열이 가해지게 되어 주위에 열전자를 방
출하게 되어 주위의 전자들과 충돌을 일으켜 이온화되고, ② 이러한 이온
들 중에 양이온은 Cathode 주위에 모여들고 음이온은 Grid 주위에 모여들
게 됨. ③ 이렇게 되어 Cathode와 Grid 사이에 전위차가 발생하게 되고 이
러한 전위차를 출력. ④ Display부에서 이러한 전위차를 압력으로 환산하
여 Reading하게 됨.
결정이유
ㅇ 관세율표 제9026호 에는 “액체 또는 기체의 ... 압력 또는 기타의 변량 의 측정 또는 검사용의 기기(예 : ... 압력계 ..)가 분류되며, 동해설서 (Ⅲ) 액체 또는 기체의 압력을 측정 또는 검사하는 기기에서 ”(4)전기식 압력계 : 전기적 현상(예 : 저항·전기용량)의 변화 또는 초음파를 이용하 는 것. 압력측정용의 진공계(Vacuum gauge). 이것은 잔유기체의 미분자가 전자와 충돌됨으로써 발생되는 양이온이 음판방향으로 옮겨진다. ...”라 고 해설하고 있음 ㅇ 본 물품은 Display부를 갖추고 있지 않지만 압력에 비례하는 전기적 신 호를 출력하므로 압력측정용 진공계의 본질적 특성을 갖추고 있다고 할 수 있고, 따라서 통칙2(가)의 규정에 의거 압력계(9026.20-1190)로 분류함