품목분류사례
Optical Micro Scope(광학현미경) ; INM300
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도
- 광학현미경으로 반도체 웨이퍼의 미세한 Pattern 및 제조시 발생하는 불
량에 대한 원인 분석용으로 사용하기 위함
ㅇ 주요구성요소 및 기능
- 현미경 본체 : Stage, Lens, UV Lamp로 구성
- 화상전송 시스템 : CCD Camera, Computer로 구성
ㅇ 작동원리
- 사용자가 관찰하고자 하는 Wafer를 Stage에 올려놓고,
- UV Lamp를 이용하여 UV광을 Wafer에 조사하면,
- Wafer에 맞고 반사되어 나온 UV광이 Objective Lens에 집적되어 고해상도
의 Image를 구현
- 구현된 Image를 CCD Camera를 이용하여 Computer로 전송함
결정이유
ㅇ 관세율표 제9011호 에는 “광학현미경”을 규정하고 있고, - 관세율표해설서 제9011호 에서는 “생산공정에서 사용되는 측정용 또는 검 사용의 현미경 중 어떤 것은 투영장치를 부착하는 경우도 있다”고 해설 ㅇ 본 물품은 화상전송시스템을 별도로 갖추고 있지만 전체적으로 광학현미 경에 주요한 특성이 있는 것이므로 광학현미경에 해당 ㅇ 따라서 통칙1의 규정에 의거 광학현미경(9011.80-9000)으로 분류