품목분류사례
TFT AOI(Automated Optical Inspection) System ; ATI-1300
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도
- TFT-LCD(또는 유기EL등 FPD) 유리기판에 존재하는 패턴결함을 광학적으
로 검출·분석하는 장비
ㅇ 구성요소
- Glass Moving System(Stage, Chuck, 진동방지장치) : 로봇으로부터
FPD 유리기판을 받아 Image Acquiring System이 Glass의 표면을 Capture
할 수 있도록 유리기판을 장착하는 장비
- Image Acquiring System(Line CCD카메라, Review 카메라, A/F 모듈,
Light Guide, 구동모터) : New Vision System이 결함을 검출할 수 있도록
Glass 표면을 카메라로 Scan하는 장비
- New Vision System(High-speed Image Processor) : Image Acquiring
System에서 받아들여진 영상으로부터 결함을 찿아 결함정보를 생성하여
Main PC로 전달
- Main PC : 전체 시스템을 운용하며, New Vision System으로부터 넘어오
는 결함 등을 사용자가 볼 수 있도록 결함정보를 화면에 Display