Gas Box ; For Dry Etcher

ㅇ 기능 및 용도 - 반도체 제조설비인 Dry Etcher의 Chamber내부에 식각시 필요한 각종 Gas 의 공급량을 조절하는 용도임 ㅇ 주요 구성요소 - Controll Board : MFC로 하여금 Chamber에 일정량의 가스를 공급할 수 있 도록 명령하는 역할 - MFC(Mass Flow Controller) : Control Board에 의해 가스량에 대한 명령 을 받으면, 유량센서, Valve, 전기회로 등을 이용하여 Chamber에 일정량의 가스를 공급하는 역할 ·유량센서 : 입력되는 가스의 양을 검출하는 용도 ·비교제어회로 : 외부에서 입력된 유량 설정 전압신호와 유량센서에서 검 출 후 증폭, 변환 과정을 거친 전압신호를 비교한 후, 필요에 따라 밸브구 동회로를 구동하는 회로 ·밸브구동회로 : 설정, 출력신호의 차가 제로가 되도록 밸브를 On, Off시 키는 회로 ·유량 Valve(Solenoid Valve) : 전자력을 이용하여 유량의 흐름을 조정하 는 밸브

ㅇ 관세율표 제9032호 는 “자동조절용 또는 자동제어용의 기기”를 분류하 도록 규정하고 있고, - 관세율표해설서 제9032호 에서는 이 호의 자동조정기기는 다음 장치로 구 성되는 것으로 설명하고 있음 ·측정장치(감응장치·변환기·저항탐침·열전대등) : 조절되는 변량의 실 제치를 측정하며, 비례되는 전기적 신호로 변환된다. ·전기조절장치, 희망치와 측정치를 비교하고 신호(일반적으로 변조전류의 형태)를 부여한다. ·점화장치·정지장치 또는 조작장치(일반적으로 접점·스위치 또는 회로 차단기·방향전환스위치나 간혹 단전기스위치)로서 조절장치에서 수신한 신 호에 따라서 작동기에 전류를 공급한다. ㅇ 본 물품은 유량센스로 실제 입력되는 가스의 양을 측정하고, - 비교제어 회로에 의해 외부에서 입력된 유량 설정 전압신호와 유량센서에 서 검출 후 증폭, 변환 과정을 거친 전압신호를 비교한 후, 필요에 따라 밸브구동회로를 구동하는 회로를 구동하며, - 밸브구동 회로로 설정, 출력신호의 차가 제로가 되도록 밸브를 On, Off시 키는 것으로 - 가스의 유량을 자동 조절 또는 제어하는 기기에 해당 ㅇ 따라서, 통칙1의 규정에 의거 자동조절용 또는 자동제어용의 기기 (9032.89-9090)로 분류