품목분류사례
Manipulator for EDS Tester
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도 (신청인 작성 물품설명서)
- 반도체 웨이퍼 테스트 장비인 EDS Tester에서 Prober Station(Wafer
를 테스트하기 위해 Align하는 장비로서 테스트하고자하는 웨이퍼를 장착)
과 Test Head를 docking 시킬 수 있도록 조정해 주는 기계
ㅇ 작동원리(신청인 작성 물품설명서)
① Test Head를 Manipulator에 장착
② Manipulator의 제어부에 장착된 조종버튼을 이용하여 Test head를 회
전시켜 Test Head와 Prober Station에 장착된 웨이퍼에 정확히 Docking하거
나 Undocking 시킴
결정이유
본 물품은 웨이퍼의 전기적 특성을 테스트하는 장비인 EDS Tester에서 Prober Station(Wafer를 테스트하기 위해 Align하는 장비로서 테스트하고자 하는 웨이퍼를 장착)과 Test Head를 docking 시킬 수 있도록 조정해 주는 기계이므로, 제84류의 다른 호에 분류되지 아니한 고유의 기능을 가진 기타 의 기계로 보아 8479.89-9099에 분류