품목분류사례
Film Thickness Measurement System ; NovaScan3090
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도 (신청인 작성 물품설명서)
-반도체 설비 중 CMP장비(웨이퍼 위의 막을 고르게 평탄화하는 기계)에
설치(부착)되어 CMP공정 전, 후 웨이퍼 박막의 두께를 측정하는 기기
ㅇ 작동원리(신청인 작성 물품설명서)
① 측정하고자 하는 웨이퍼를 스테이지에 장착
② 웨이퍼에 특정...
결정이유
본 물품은 측정원리가 광학식이며 웨이퍼 박막의 두께를 측정하는 기기로 서 제90류의 다른 호에 분류되지 아니하는 측정 또는 검사용의 기기이므로 광학식의 웨이퍼 검사용의 기기로 보아 (9031.41-9000)에 분류