품목분류사례

Mask Thickness & CD Measurement System ; 3700RT

품목번호	9031.41-9000
구분	품목분류사례 품목분류과-106768 (시행일자: 2006-03-20)
품명	Mask Thickness & CD Measurement System ; 3700RT
결정기관	관세평가분류원
문서번호	0072006874846

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이미지 준비중

물품설명

ㅇ 기능 및 용도 (신청인 작성 물품설명서)
 - PR이나 메탈 막이 형성된 마스크의 두께 및 선폭을 측정
 ㅇ 구성요소별 기능
 ① Chamber : Mask에 형성된 PR이나 메탈의 두께 및 선폭을 측정하는 곳
 ② Robot : 장비내부에 장착되어 마스크를 Chamber로 이송하는 장치
 ③ S...

결정이유

본 물품은 측정원리가 광학식이며 마스크의 두께 및 선폭을 측정하는 기기 로서 제90류의 다른 호에 분류되지 아니하는 측정 또는 검사용의 기기이므 로 광학식의 포토마스크 또는 레티클 검사용의 기기로 보아 (9031.41- 9000)에 분류

등록정보

2006-03-20

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