품목분류사례
Moisture Analyzer(/AMETEK5910)
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체생산라인에 사용되는 각종 Gas(헬륨, 산소, 질소, 아르곤등)내
수분농도를 Monitoring하는 장비(가스내 수분함량이 많으면 산화막이 형성
되어 부식이 일어남)
ㅇ 구성 및 작동원리
- ① MFC : 일정량의 가스가 흐르도록 조절하는 장치
② Dryer : Sample Gas내 수분을 제거하여 Zero Gas를 제조하는 장치
③ Quartz Crystal Sensor : Sample Gas와 Reference Gas(반도체 생산
시 사용되는 가스)의 통과시 발생하는 진동수를 비교하여 수분농도를 측정
하는 센서
- 최초 Dryer를 이용 수분을 제거한 Zero Gas를 만들어 수분이 잘 흡수되
도록 코팅되어 있는 Quartz Crystal Sensor를 통과시켜 1차로 진동수를 측
정한 후, 2차로 반도체제조공정에서 실제로 사용되는 Reference Gas를 통
과시켜 진동수를 측정하여 이를 1차에서 측정된 진동수와 비교하여 가스
내 수분농도를 분석함.
결정이유
ㅇ 관세율표 제9025호 에는 “ ... 습도계 ...”가 분류되며 - 동호 해설서에서 (D) 습도계 및 자기습도계에서 “공기, 기체 및 고체 중 습도농도를 측정하는데 사용되는 것으로 ...... ”라고 - 제9027호 해설서 제외규정(h)에서 " 제9025호 의 액체비중계·온도계·습 도계 및 이와 유사한 기기(실험실용의 여부를 불문한다)”라고 해설하고 있음. ㅇ 본 물품은 Quartz Crystal Sensor를 이용하여 가스내의 수분농도를 측 정하는 장비로, 습도계(9025.80-3090)로 분류함