품목분류사례
ㅇ 자동제어반(제시품명 : VR341 SCR 3상 전력조정기)
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 물품 개요
- 3상 교류 전원(210±30V 50/60Hz)을 SCR(Silicon Control Rectifier)
소자에 의해 위상 제어하는 전력 조정기로 온도조절기의 4~20mA 또는 1~5V
의 제어신호에 따라 출력전류를 조정하는 것
ㅇ 형태 및 구성도 : 붙임
ㅇ 주요 구성부품
- 전원접속단자, 이상신호출력단자, SCR소자(계전기), 제어기판(SCR소
자 제어) 등
ㅇ 기능 및 용도(신청인 작성 · 제출자료)
- WET STATION 설비에 순환되는 약액(Chemical)이 일정한 온도(50℃～
163℃)를 유지할 수 있도록 가열하는 승온관(Tube-Heater)에 공급되는 전
류를 제어
- 출력되는 전력의 값을 체크하여 Heater의 과열이나 파손, 과전류 등
도 감지(추가 기능)
※Wet Station(신청인이 작성 · 제출한 자료)
- 반도체 생산공정에서 발생하는 Wafer의 각종 오염물질을 제거하고 방지
하는 세정장비로서, 약액(Chemical) 또는 순수(De-Ionized Water; DIW)를
사용하여 각각 프로세스 전후에서 Wafer를 세정
ㅇ 작동원리
- 일차공급전원단자를 통하여 공급된 전력이 온도조절기로부터 입력된
신호(4~20mA)에 따라 on-off 방식이 아닌 위상제어 방식에 의해 승온관
(Heater)으로 출력되는 전력 값의 범위를 제어