품목분류사례
Plasma Temp Sensor Wafer ; Q320-020636
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체 장비 중 플라즈마를 사용하는 Etch 설비의 공정 온도를 모니터링
하기 위하여 사용되는 것으로서
- 플라즈마 챔버 내에 투입되어 공정 중의 온도를 감지하고 저장하며, 공정
이 끝난 후 외부의 별도 설비와 무선통신으로 데이터를 출력하여 공정 중
의 온도를 모니터링 할 수 있도록 함
ㅇ 구조 및 형태
- Wafer위에 온도를 감지하여 주는 센서부가 코팅되어 있음
- Wafer위에 CPU, 온도를 저장하는 메모리, 전원 공급을 위한 밧데리, 적외
선 무선통신 Chip 등의 하나의 모듈 형태로 구성됨
결정이유
ㅇ 관세율표 해석에 관한 통칙 2가에서는 “각 호에 게기된 물품에는 불완 전 또는 미완성의 물품이 제시된 상태에서 완전 또는 완성된 물품의 본질적 인 특성을 지니고 있으면 그 불완전 또는 미완성의 물품이 포함되는 것으 로 보며.....”라고 규정하고 있고, - 관세율표 제9025호 에는 “온도계”를 규정하고 있는 바, ㅇ 본 물품은 온도를 감지하고 저장하며, 외부의 별도 설비와 무선통신으 로 데이터를 출력하여 온도를 모니터링 할 수 있도록 하는 것으로 비록 표 시부를 갖추고 있지는 않지만 온도계라는 완성품의 주요특성을 갖춘 것으 로 인정됨 ㅇ 따라서 통칙2가의 규정에 의거 온도계(9025.19-1000)로 분류