품목분류사례
파워 생성 장치 ; RF Power Delivery ; APEX Series
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 물품개요
- 반도체 제조 장비인 막증착장치(CVD)나 식각장치에 사용되는 무선주파
수(RF)를 발생 장치
ㅇ 구조 및 형태
- 금속함체 내부에 무선주파수 발생장치(RF Power Generator), 무선주파
수 증폭장치(RF Power Amplifier), 전원(Power) 입력부로 구성됨
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체 제조시 사용되는 RF Power를 생성하여 공급하는 기능의 물품
결정이유
ㅇ 관세율표 제8543호 는 ‘제85류의 다른 호에 분류되지 아니한 것으로 고 유한 기능을 가진 전기기기’를 규정 ㅇ 본건 물품은 반도체 제조공정에 사용되는 막 생성기기나 식각장치 등에 13.56MHz 무선주파수를 발생시켜 공급하는 장치로, 이러한 기능은 관세율 표 제85류의 다른 호에 분류되지 아니하는 고유한 기능이므로, ㅇ 관세율표 제8543호 용어의 규정에 의거 ‘기타의 고유한 기능을 가진 전 기기기’ (8543.89-9090)로 분류