Temperature cycle system ; ES-53L(Thermal shock chamber)

ㅇ 물품개요 - 고온(200도씨) 또는 저온(영하 67도씨)의 공기로 각종 재료에 열 충격 을 가하는 기기 ㅇ 구조 및 형태 - 물품크기 : 1.3m(폭) * 1.08m(깊이) * 1.925m(높이) - 내 용적 : 50리터, 시료 중량 : 시료용 바스켓 포함 2.5kg - 물품 전면부는 액정표시장치 등이 결합된 기기 제어부로 구성 - 물품 내부는 고온 챔버, 저온 챔버, 테스트 챔버로 구성 - 고온 챔버 : 기기 상단에 설치된 것으로, 전기 발열식 히터, 축열기, 송풍기로 구성되고, 섭씨 200도씨의 고온 공기를 발생시킴 - 저온 챔버 : 기기 하단에 설치된 것으로, 냉매를 이용하여 섭씨 영하 67도씨까지 냉각시켜 저온 공기를 발생시킴 - 테스트 챔버 : 기기 중앙에 내장된 것으로, 시료를 고정하는 stand, 고 온·상온·저온 공기 조절 밸브로 구성되며, 밸브의 작동으로 시료에 고온 ·상온·저온 공기로 열 충격을 가함 ㅇ 기능 및 용도 - 고온 및 저온 챔버에서 발생된 공기로 시료에 열 충격을 가하여, 온도 변화에 따른 재료의 변화(분리 또는 균열)상태를 검사하기 위한 용도로 사 용되며, 열 충격을 받은 시료는 본 기기와는 별도로 육안 또는 현미경 등으 로 검사 - 수입자는 발광다이오드(LED) 웨이퍼의 검사를 위해 사용하나, 제조자 는 일반적인 용도(general purpose type)로 설명