Mask Repair System ; NM650

ㅇ 물품형태(화주제시 설명서 및 카탈로그) 원자현미경(AFM), 레이저발생기, Photo Diode와 전원공급장치 및 컴퓨 터로 구성 ㅇ 기능 및 용도 (화주 제시 설명서 및 카탈로그) 마스크(웨이퍼에 형성할 회로가 그려져 있는 사진원판)에 형성된 회로 가 불량일 경우 수정하는 용도로 사용하는 기계 ㅇ 구성요소 및 기능 ① AFM(Atomic Force Microscope) : 원자현미경으로서 마스크 회로의 불 량부분의 위치 를 찾아 수리까지 수행 ② Laser Generator : Laser를 발생하는 부분 ③ Photo Diode : 원자현미경에 부착된 다이아몬드 팁을 맞고 나오는 Laser를 검출하는 광센서 ④ Operation System : 컴퓨터형태로 되어 있으며, 장비의 운용을 Control하는 역할 ⑤ Transformer Box : 전원공급장치 ㅇ 작동원리 ① 불량 마스크를 스테이지에 놓음 ② AFM에 부착된 다이아몬드팁이 Mask의 표면을 긁고 지나감 ③ 지나가는 다이아몬드팁에 Laser를 조사하여 다이아몬드팁을 맞고 나 오는 Laser를 Photo Diode를 이용하여 검출하여 화면에 디스플레이함 으로써 불량부위를 찾음 ④ AFM에 부착된 다이아몬드 팁으로 불량부분을 깍아내어 제거함