품목분류사례
Valve Door : 12"
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 구성 및 형태
- 알루미늄재질의 제품 가장자리에 불소고무로 된 O-ring이 결합
ㅇ 기능 및 용도
- CVD장비의 Chamber와 Chamber 사이에 장착되어 Chamber의 개폐역할
을 함으로써 웨이퍼를 이동하게 하며
- 알루미늄 body에 결합되어 있는 특수고무는 증착과정에서 발생하는
플라즈마나 가스가 새는 것을 방지하고 기계적 마찰에 의한 Particle발생
을 억제하는 역할을 함
※ CVD장비는 Load Rock Chamber, Transfer Chamber, Process
Chamber 등으로 구성되어 있으며, 웨이퍼를 각 Chamber로 이동시켜 최종
Process Chamber에서 절연막 증착이 이루어 짐
결정이유
ㅇ 본 물품은 CVD장비의 Chamber와 Chamber 사이에 장착되어 Chamber의 개폐역할을 함으로써 웨이퍼를 이동하게 하며 알루미늄 body에 결합되어있 는 특수고무(o-ring)는 증착과정에서 발생하는 플라즈마나 가스가 새는 것 을 방지하고 기계적 마찰에 의한 Particle발생을 억제하는 역할을 함 ㅇ CVD(화학기상증착기)는 반도체 제조공정 중 웨이퍼위에 절연막을 증착 하는 장비로서 제8479.89-2020호에 분류됨 ㅇ 따라서 본 물품은 CVD장비에 전용되어 사용되도록 설계.제작된 물품 이므로 CVD장비의 부분품이 분류되는 HSK8479.90-3010호에 분류 및 6>