Parts for Wafers transport system; Blade-Robot

□ 물품 개요 웨이퍼를 올려놓을 수 있도록 특정형상으로 설계된 알루미늄 제품으로 반도체 제조용 산화막 식각기에서 Transfer Chamber의 이송장치에 사용되 는 물품임 □ 구조 및 형태(신청인 제시 카다로그) - 재질 : 알루미늄 재질 - 좌측부분은 Transfer Chamber에 장착할 수 있도록 천공되어 있고, 웨이 퍼를 올려놓는 부분은 이송이 용이하도록 좌측의 장착부분보다 낮은 층으 로 된 특정형상(포크형상)으로 제작됨 □ 기능 및 용도 반도체 웨이퍼 제조용 산화막 식각기(Oxide Etcher)에서 Transfer chamber의 이송장치에 장착되어 웨이퍼가 적재되어 있는 Loader로부터 식 각공정이 진행되는 Process chamber로 웨이퍼를 이송하는 데 사용됨

ㅇ 관세율표 제16부 주2(기계의 부분품 분류규정)에서“ 제84류 또는 제 85류중 어느 특정한 호( 제8409호 , 제8431호 , 제8448호 , 제8466호 제8473 호, 제8487호 , 제8503호 , 제8522호 , 제8529호 , 제8538호 , 제8548호 를 제 외 한다)에 포함되는 부분품은 각각 당해 호에 분류한다.”라고 규정하고 있으며 ㅇ 관세율표 제8486호 에는“반도체 보울 또는 웨이퍼ㆍ반도체디바이스ㆍ 전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기 계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목(보울, 웨이퍼, 반도체디바이스, 전자집 적회로와 평판디스플레이의 권양, 하역, 적하 또는 양하용에 전용 또는 주 로 사용되는 기계)의 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부속품”을 분류토 록 규정하고 있음 ㅇ 반도체 웨이퍼 제조용 산화막 식각기(Oxide Etcher)에서 Transfer chamber의 이송장치에 장착되어 웨이퍼가 적재되어 있는 Loader로부터 식 각공정이 진행되는 Process chamber로 웨이퍼를 이송할 수 있도록 특정형 상(포크형상)으로 제작된 것임 ㅇ 따라서, 관세율표 제16부 주2의 규정 및 동 표 제8486호 의 용어에 따 라 8486.90-4010(종전 8431.39-1090)호에 분류함.