Parts of pressure gauge; Hot Cathode Ion Gauge Filament, 8080-60018

□ 물품 개요 텅스텐 재질의 필라멘트와 Collect로 구성되어 이온주입기(Ion Implanter)에서 진공도 측정에 사용되는 물품임 □ 구조 및 형태(신청인 제시 카다로그) - 중심에 금속제 봉상의 Collector가 양측에 있는 텅스텐 재질의 Filament와 결합된 것임 □ 기능 및 용도 - Filament : 열전자를 방출하여 공기 중의 분자가 전자와 충돌하여 이 온화 시킴 - Collector : 이온화된 양성자를 Collect에 모이도록 하는 기능이 있으 며, 이러한 미세 전류양을 외부의 측정기(Display부)에서 인식하여 진공도 를 측정하게 함

ㅇ 관세율표 제9026호 에는 “액체 또는 기체의 유량, 액면, 압력 또는 기타 변량의 측정 또는 검사용의 기기(예: 유량계, 액면계, 압력계, 열측 량계) 다만, 제9014호 , 제9015호 , 제9028호 또는 제9032호 의 것을 제외한 다”가 분류되며, ㅇ 동표 해설서 제9026호 에서 액체 또는 기체의 압력을 측정 또는 검사 하는 기기에는 “전기식압력계- 전기적현상(예: 저항, 전기용량)의 변화 또는 초음파를 이용하는 것, 저압력 측정용의 진공계(열이온식 진공관 진공관>용의 전리 게이지를 포함한다)- 이것은 잔유기체의 미분자가 전자 와 충돌됨으로써 발생되는 양이온이 음판방향으로 옮겨진다.”가 포함된다 고 규정하고 있음 ㅇ 본품은 압력계(진공게이지)에 장착되도록 제작되어 있고, 전원이 공 급되면 Filament에서 열전자를 방출하게 되어 주위의 분자들과 충돌을 일 으켜 이온화되고, 이온화된 양성자는 Collect에 모이도록 하는 기능이 있 으며, 이러한 미세 전류량을 외부의 측정기(Display부)에서 인식하여 진공 도를 측정할 수 있게 하는 압력계 부분품임 ㅇ 따라서, 관세율표 제90류 주2 규정 및 동표 제9026호 의 용어에 따라 “압력계의 부분품”(제9026.90-9000호)으로 분류함