품목분류사례
IsoPort 300mm
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 물품 개요 : 반도체 장비에 전용으로 사용되어지도록 설계제작된 물품
으로서, CMP, CVD, 반도체 측정기기(Uvision system) 등 장비에 공통적으
로 사용되는 물품으로 300mm 반도체 설비에 장착하여 Wafer를 카세트에 정
렬하는 물품임
- Iso Port는 wafer를 움직이기 위하여 진공등이 작동하여 wafer를
hold
- Uvision system내부에서 자동으로 wafer를 가져가 laser로 scan하
여 defect를 검사
ㅇ 작동원리
- 300mm wafer carrier가 IsoPort에 Loading되었을 경우 IsoPort는 이
를 인식하여 Host장비에 Report, Host장비에서 Open 및 close이 수신될 경
우, wafer carrier를 open 및 close함
ㅇ 기능
- 300mm wafer carrier open/close
- Carrier 내부 wafer 유무 판독 및 위치 확인
- Mapping data를 Host장비(CMP,CVD,Uvision system등)로 전송
- Foup(웨이퍼카세트)정렬 : 레츠키가 조금씩 회전하며 웨이퍼카세트
를 미세하게 정렬
- 정전기를 중화시키는 기능
- 웨이퍼 돌출유무를 감지하는 기능
ㅇ 용도
- 300mm wafer carrier opener