품목분류사례
Registration Measurement System for Photomask ; LMS IPRO3
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이미지 준비중물품설명
ㅇ레이저를 포토마스크에 조사, 이를 통한 반사 및 투과량으로 포토마스크
에 형성된 마스크 회로패턴 정렬도(선폭측정 : 회로패턴의 기울기 및 틀
어짐)를 측정함으로써 포토마스크의 양·불량을 측정하는 기기
ㅇ상세 설명
- 구성요소 및 구성요소별 기능(기기는 일체형구조임)
(1)Main Body
·Stage : 포토마스크의 정렬도 검사를 위해 X축과 Y축으로 이동시키는
장치
·Laser interferometer : 스테이지가 정교하게 움직일 수 있도록 조정
하는 장치
·Optic Head : 360～410nm의 레이저를 발생하는 헤드
(2)Electronic Module
·Electronic Board : Auto loader 등의 하드웨어를 통제하고 조절
하는 전기보드
·Lamp : UV램프를 사용하여 하나의 UV Lamp에서 투과 및 반사의 빛을
Optic Head로 보냄
(3)Air Conditioning Module : 온/습도조절장치로 포토마스크의 정렬
도 검사시 온/습도에 의한 영향을 받지 않게 하기 위한 조절장치
(4)Operation Computer : 장비전체를 제어하고 측정 및 검사된 결과를
내장된 프로그램을 이용하여 포토마스크의 양불량을 측정