Machine for depositing membrance on wafers

자동화된 시스템 제어를 통해 웨이퍼상에 유기 단분자박막(單分子薄膜) 을 형성시키기 위한 장치로서, 수조에 기저 액체를 채운 후 유기 단분자 박막을 띄워놓고 온도,표면장력 등을 조절하여 웨이퍼를 담그거나 올릴 때 막이 형성되게 한 장비. 수조 구조는 전체 깊이는 얇고 웨이퍼가 잠 길 부분은 8인치 웨이퍼 크기에 맞게 좁고 긴 홈이 파여진 구조를 가지고 있음.

- 관세율표 제8486호 에서 ‘반도체 디바이스,전자집적회로 또는 평판 디스 플레이어의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계와 기기’를 분류하고 있 으며, 동호에 대한 관세율표해설서에서는 ‘(B) 반도체 디바이스 또는 전자집 적회로 제조용 기계와 기기: 이 그룹에는 반도체 디바이스 또는 전자집적 회로를 제조하기 위한 기계 및 기기가 분류된다. 예를 들면, (1) 막 형 성 장비 : 이 장비는 웨이퍼 가공 공정에서 웨이퍼 표면에 여러 가지 막 을 형성한다. 이러한 막은 완성품 위에서 도체, 절연체 및 반도체 역할을 한다. 이들 막은 표면, 금속 및 epitaxial 층의 산화물과 질화물 등을 포 함하고 있다. 아래에 예시한 공정과 장비들은 특정 타입의 막만을 생성하 도록 제한된 것은 아니다. ......이하생략......‘고 규정하고 있음 - 본건 물품은 반도체 웨이퍼상의 유기박막을 형성하는 장비임 - 따라서 본건 물품은 관세율표 해석에관한 통칙1에 의거 반도체 웨이퍼상 의 막 형성장비가 분류되는 8486.20-4000호에 분류됨