품목분류사례
Electric furnace parts; ALN Heater A'ssy; For CVD electric furnace
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이미지 준비중물품설명
반도체 제조공정중 CVD 공정장비의 Heating chamber에 장착되어 사용되는 것으로서 일정온도(750도)까지 가열하고 이를 지속적으로 유지시키기 위한 발열판 기능을 하는 물품으로서 ①ALN 히터 플레이트(웨이퍼를 올려놓고 히팅을 하기 위한 플레이트로 실제 발열체임), ②Stem pipe(ALN 히터 플레이트를 지지하고 내부에 장착되어 있는 각종 부품들을 Gas로부터 보호하기 위한 부분), ③Power rod(ALN 히터 플레이트의 Power 단자에 연결되는 부위로서 Power 공급역할),④T/C(온도조절 센서),⑤Gas Line(아르곤 가스를 정화(purge)해주는 Port), ⑥기타(절연 세라믹 파이프(Power rod 등 보호), 각종 볼트,스프링,케이블, o-ring, Flange)등으로 구성.
결정이유
제시된 자료에 따르면 본건 물품은 전열저항체가 내장된 세라믹제의 웨이퍼상의 판(plate)위에 상기 물품 설명에 기술된 바와 같이 HS 8516호의 전열저항체에 대한 설명에 기술된 단순한 절연체 및 전기접속부분의 범위를 벗어나는 부품들인 온도 조절센서, 가스라인이나 진공 파이프 등이 함께 조립되어 있는 물품이므로 16부 주 2 “b"의 규정에 의거 CVD장비의 Heating Chamber 부분품이 분류되는 HS 8514.90-1010호에 분류함.