- 반도체 및 LCD 제조공정 후 발생된 Exhaust Line 내벽에 쌓이는 부산물에 Hot N₂Gas(100~200℃)를 이용하여 분진Powder의 고착을 방지하고 설비 성능을 향상시키는 역할 - 작동원리 : 반도체 및 LCD용 Process Gas가 수분 또는 공기 중의 O₂와 산화 반응하여 고형의 산화...
결정이유
○ 관세율표 제8414호에는 “기체펌프나 진공펌프ㆍ기체 압축기와 팬, 팬이 결합된 환기용이나 순환용 후드”가 분류되고, - 같은 호 해설서에서 “이 호에는 공기나 그 밖의 기체를 압축하거나 진공상태로 만들기 위한 수동이나 동력구동식의 기계와 공기나 그 밖의 기체를 순환시키는 기계를 포함한다.”라고 설명하고 있...
