Other gas filters for semiconductor manufacturing; VOCs Reduction system;; VRS-C
결정기관
관세평가분류원
문서번호
0072017008001
이미지
물품설명
ㅇ 물품개요 반도체 포토 공정 중에 사용되는 감광성 유제 등에서 발생되는 휘발성 유해가스*를 제거하기 위한 여과장치로, 세공이 많은 제올라이트 필터를 이용해 유해가스를 탈착하고 보조적으로 가스 이송을 위한 팬과 필터의 성능을 향상을 위한 전기 가열(재여과) 장치가 하나의 철강재 하우징에 결합되어 있음 * 대기...
결정이유
ㅇ 관세율표 제8421호에는 “액체용이나 기체용 여과기나 청정기”가 분류되고 제8421.3호에는 “기체의 여과기나 청정기”가 세분류됨 ㅇ 같은 호 해설서 '(Ⅱ)액체용이나 기체용 여과기나 청정기' 그룹에 다음과 같이 설명하고 있음 - “이 호에는 모든 형[물리식·기계식·화학식·자석식·전자식·정전식 등]의 여과...